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产品特色

．纳米复合硬质涂层设备

．采阴极电弧镀膜技术，可安装4~8组6吋圆形阴极弧源

．圆形靶靶材利用率高

．真空零配件均采进口元件

．特殊几何形状档板(遮蔽靶源)

．系统采夹层式水路冷却；八边形不锈钢腔体

．搭载4 组Heater，可均匀升温至450℃

．搭载超高真空涡轮帮浦

． 8轴3层公自转机构，产能大且膜层均匀

．置具台车方便Loading /Unloading生产，提供生产效率

．全自动化镀膜生产，可远端网路诊断及程式除错

．可镀膜种类：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…

可应用范围

．铣削、车削、钻孔、攻牙之刀工具

成型、冲压之模具